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□--碳化硅棚板及垫板参数--□
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项目
JCN20N
JCN20F
JCN20Z
碳化硅含量
(%)
90
88
90
体积密度
(g/cm
3
)
>2.6
>2.65
>2.75
气孔率(%)
18
17
6
抗折强度(
Mpa
)
室温
25
46
50
1250
℃
22
40
40
1400
℃
18
28
30
弹性模量
G
*
Pa
室温
60-90
80-110
90-120
线膨胀系数(
10
-
6
/
K
)
5.4
5.6
4.8
线膨胀系数(
W
/
M.K
)
15
16
6
最高使用温度
1450
℃
1500
℃
1500
℃
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